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电子束斜角蒸发相关论文

应用于短波段的减反射薄膜研究

以Si为衬底设计并制备了四层结构的减反射薄膜,分别为TiO2、 YAG∶Ce和两种不同孔隙率的SiO2纳米柱膜层.薄膜在350-1100nm内的平均......

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减反射薄膜电子束斜角蒸发磁控溅射硅衬底

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