电子辅助化学气相淀积相关硕士博士期刊学术论文

采用蒙特卡罗方法模拟了电子辅助化学气相淀积 (EACVD)金刚石薄膜中的氢分解过程 ,建立了电子碰撞使氢分解的模型 ,给出了电子能量......