电容加速度计相关论文
电容式微加速度计是目前发展最快、应用最广的微机械加速度计产品之一,已开始实现从中等精度向高精度的换代升级.本文介绍了硅电容......
本文介绍了力平衡式模拟反馈电容加速度计的工作原理，对有特定参数的传感头设计了匹配电路并进行了Matlab仿真，仿真结果符合对系统的......
随着微机械加速度计的发展,其设计方法、结构工艺、系统实现及性能分析越来越需要深入研究,运用CAD进行分析是一种发展趋势.本文运......
该文分析了国外加速度计研究的概况和发展趋势，介绍了几种差动电容式加速度计的结构，提出了一种新的三维差动电容加速度计结构，并分析......
MEMS差分电容式硅加速度计具有高灵敏度，低噪声干扰，稳定的直流特性，低功耗和低温度系数等诸多优点，在工业方面有着广泛的应用。用于ME......
MEMS电容式加速度传感器检测电路的功能是将传感器的电容变化信号转换为电压或者电流等电学信号，以便进行后续的信号处理。作为加速......
基于体硅微机械加工技术，设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构，在有效提......
提出并实现了一种利用SoI结合金硅原电池保护和反熔丝制作电容式加速度计的新工艺方法。该工艺用SoI顶层硅制作梁和上电极，用衬底制......
The property of silicon micro-capacitive accelerometer is analyzed and discussed by establishing the model of the sensor......
提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接......
本文对用微机械加工技术制成的薄膜型硅电容式微加速度计的国际最新研究动向进行了论述,列举了采用表面微机械加工、硅片键合、硅......
用体硅微机械工艺制作的梳齿电容式传感器有制作工艺简单、温度系数小、稳定性好、阻尼系数容易控制等优点，因而应用广泛。 为了......
基于微机械工艺制作的加速度计 ,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需求研制了检测微小电容变化的......
期刊
阐述了开放式虚拟仪器平台LabVIEW的特点;论述了电容式加速度计的数据采集原理;利用图形化编程语言LabVIEW的虚拟仪器和动态特性,......
