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电容间距控制相关论文
电容式微机械加速度计“三明治”结构封装技术研究
随着MEMS传感器件越来越广泛的应用,MEMS器件的封装技术也越来越受到关注。封装技术的应用受各种因素的限制,比如材料、温度、强度......
学位
MEMS封装
焊料键合
玻璃浆料键合
电容间距控制
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