电导显微镜相关硕士博士期刊学术论文

利用ＭＥＶＶＡ离子源将Ｆｅ离子注入到Ｓｉ基体中会生成一层铁硅化物薄膜。利用电子显微镜，研究了这层铁硅化物的显微结构及其在随后的升温退火过程中......