电极未对准误差相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

电极未对准误差相关论文

嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识

作为一种工作在简并模态的陀螺,嵌套环式MEMS陀螺因其更强的抗冲击特性、对外界振动更低的敏感性以及更灵活的电极配置等优势被作......

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嵌套环式MEMS陀螺结构误差辨识刚度轴偏角误差电极未对准误差 disk resonator gyroscopestructural imperfectio

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