电磁型微驱动器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

电磁型微驱动器相关论文

一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析

提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁，以及永......

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