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在室内环境控制领域,对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了2大挑战:一是气体浓度变化范围大;二是许多具有相似化学性质的不同......
微纳电离式气体传感器基于微尺度放电原理,具有响应快、精度高、易集成等特点,有望实现对气体的快速准确检测.目前缺少对该新型传......
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检......