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电负性容性耦合等离子体相关论文
电负性容性耦合等离子体诊断及材料表面处理
氟基、氯基等电负性等离子体广泛运用于刻蚀加工领域,但是电负性等离子体电子密度的测量用传统方法比较繁杂。本文主要研究了利用微......
学位
电负性容性耦合等离子体
材料表面处理技术
工艺参数
微波共振探针
诊断方式
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