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直流旋转电弧等离子体喷射相关论文
气体循环直流旋转电弧等离子体喷射法生长金刚石大单晶研究
论文研究了沉积工艺参数(输入功率、衬底温度、甲烷浓度、表面预处理)及氮掺杂等对气体循环旋转电弧DC Arc Plasma Jet CVD金刚石......
学位
金刚石单晶生长
直流旋转电弧等离子体喷射
同质外延
光学性质
辐射探测器
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