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直流辉光氧等离子体相关论文
直流辉光氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究
等离子体化学气相沉积(PCVD)金刚石膜拥有许多卓越的化学和物理性质,在机械、微电子、通讯和国防工业中都有着广泛的应用。目前,工......
学位
金刚石膜
直流辉光氧等离子体
抛光
刻蚀
沉积
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