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直线微工作台相关论文

一种微小物体精密定位的直线微工作台

提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的......

期刊

直线微工作台平滑冲击驱动压电元件磁铁精密定位大行程 linear micro-stage impact friction drive piezoele

一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)

提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的......

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