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高频等离子体化学气相淀积制备氮化硅超细粒子
利用高频等离子本化学气相淀积方法以四氯化硅及氨为原料,合成了粒度小、粒径分布均匀、氮含量为36.3%的无定形氮化硅粉末,研究了放置环境......
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高频等离子体
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氮化硅陶瓷
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