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真空弧沉积相关论文

过滤管道磁场对改进弧沉积系统弧放电和传输效率的影响

在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加一30～60V的正偏压，可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下对磁过滤管道......

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真空弧沉积磁过滤管道第二阳极作用磁过滤管道磁场传输效率薄膜合成 vacuum arc deposition magnetic filter duct

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