真空微电子压力传感器相关论文
该文简要介绍了作者近期在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，着重介绍真空微电子压力传感器封装的实验研究。......
会议
作者提出了阴极—敏感薄膜复合结构的真空微电子压力传感器，在计算机模拟计算的基础上，对其结构尺寸进行了优化设计，并研制作出了阴极......
该文主要阐述了真空微电子压力传感器敏感薄膜研制实验，着重在双面光刻，各向异性腐蚀，腐蚀自停止等几个方面做了阐述。腐蚀的薄膜厚度......
主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列.探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐......
封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进......
