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低粒子高真空插板阀是用于半导体和集成电路行业中的一种特殊的真空阀门,因其在工作过程中脱落的颗粒物很少,不会在晶圆运输过程中......
伴随我国航天及国防事业的巨大进步,更多关键和特殊的装备需要在真空环境下生产或试验,大型和特大型地面模拟设备开始研制和投入使......
本文介绍CCD-00A型电动超高真空插板阀的设计和制造的要点. CCD－400A型超高耳空插板阀是以电源为动力，用阀杆带动闷板作上下运动......
一种真空连续立式双面镀膜技术，生产线由12个真空室直线排列，机械主体采用积木式模块单元化设计，总体呈直线立式排列，基片亦呈立式传送......
据(85)机标函字1700号文,机械工业部颁布下达标准为部标准: JB4077-85《高真空插板阀型式与基本参数》; JB4078-85 《高真空档板阀......
