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真空泵驱动电机相关论文
真空泵屏蔽电机无速度传感器带速重投控制系统研究
随着真空应用技术的发展,大规模集成电路制造装备业、薄膜技术制造业、材料制备业等领域对真空泵的需求不断增大。作为真空泵的主......
学位
屏蔽电机
真空泵驱动电机
带速重投
无速度传感器
定子残压
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