真空电子束蒸镀相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

真空电子束蒸镀相关论文

HfO2介质薄膜表面原位低温沉积石墨烯研究

研究了高k介质HfO2薄膜制备工艺和石墨烯原位沉积工艺的结合.采用真空电子束蒸镀在重掺杂Si衬底上室温沉积HfO2薄膜,并对薄膜样品......

期刊

石墨烯 HfO2薄膜真空电子束蒸镀快速退火原位低温沉积 PECVD 工艺结合

等离子显示器(PLASMA DISPLAY PANEL)中MgO(氧化镁)蒸镀工艺的进展--真空电子束蒸镀与MgO(氧化镁)材料

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会议

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