真空脉冲弧光放电相关硕士博士期刊学术论文

脉冲电弧离子镀工艺具有离化率高、离子能量高、沉积速率快等优点,与直流偏压工艺相比较,可以进一步改良薄膜的膜基结合力和组织均......