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光学干涉仪由于高精度、全口径、非接触特点在光学元件的检测中具有极其广泛的应用.针对光学元件加工在线检测需要,提出了一种紧凑......
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提出了一种基于光栅点衍射干涉原理的Φ400mm瞬态波前检测方法。该方法使用位相光栅在参考光与测试光中引入横向错位,即在干涉图中......