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光学非球面扫描干涉测量方法精度验证关键技术研究
近年来,得益于加工、测量技术的发展,非球面已在光学工程各个领域得到广泛应用。目前,成熟的非球面测量方法有多种,但是这些检测方......
学位
非球面
扫描干涉
矢高重建
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