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矩形光刻胶光栅相关论文
一种控制矩形光刻胶光栅槽深和占宽比的方法
利用光刻胶的非线性效应可以制作出了矩形的全息光栅。制作矩形光栅时 ,对槽形的控制被简化为对槽深和占宽比这两个参量的控制。首......
期刊
物理光学
矩形光刻胶光栅
槽深
占宽比
实时监测技术
全息光栅
掩模
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