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石墨厚度相关论文

用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计

采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究.分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢......

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碳化硅碳硅镓化合物温度场优化设计热壁化学气相沉积法感应加热有限元石墨厚度感应线圈数半导体材料 <Keyword>SiCGe hot

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