石墨靶材相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

石墨靶材相关论文

石墨靶材电流对Ti（C,N）多层膜微观组织及力学性能的影响

采用反应非平衡磁控溅射技术制备了Ti（C,N）多层膜,其中以石墨靶材作为镀层生长所需的碳源。实验研究了石墨靶材电流变化对Ti（C,N）多层......

期刊

TI(C N) 多层膜石墨靶材 Ti（C N） multilayer film graphite target

反应磁控溅射法制备Ti（C，N）镀层的组织结构与性能研究

本文采用反应磁控溅射技术并选择石墨靶材作为镀层生长中所需的碳源,制备了一系列碳含量不同的Ti(C, N)镀层。使用X射线衍射、扫描......

学位

反应磁控溅射 Ti(C N)镀层石墨靶材多层结构

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