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薄壁微结构研抛装置关键技术研究
精密制造业的发展极大地提高了人们的生活水平,从而改变了我们的生活,当今精密制造业发展的一个重要的方向就是产品的微小型化,具......
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微结构
研抛装置
宏/微驱动
微力/位移传感器
有限元
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