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在950°C和1 120 °C温度下,对非掺杂半绝缘LEC GaAs进行了不同As气压条件下的热处理,热处理的时间为2~14小时.发现不同As......
对非掺杂(ND)半绝缘(SI)液封直拉(LEC)GaAs单晶在 950℃下进行了不同 As压的热处理,研究了热处理对材料电特性的影响.发现在950℃温度和低As压条件下 进行14h热处理,......
在 950℃和 1120℃温度下,对非掺杂(ND)半绝缘(SI)液封直拉(LEC) GaAs 单晶进行了不同砷气压条件的热处理,研究了热处理对本征缺陷......