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硅(Si)基片相关论文
硅基片上的中波红外铝线栅偏振器设计
设计了一种Si基片上的Al线栅偏振器,在Al线栅和Si基片间引入一层低折射率SiO介质层,适用于3.0-5.0μm的中波红外波段。采用有限时......
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线栅偏振器
硅(Si)基片
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铝(Al)线栅
消光比
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