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硅加速度传感器相关论文
双E型硅加速度传感器的研制
本文在简要介绍了,利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的,双E非整体弹性膜式硅芯片结构的同时,又较详细地报告了,用此芯片封装成的硅加......
期刊
各向异性腐蚀
双E型硅弹性膜
硅加速度传感器
anisotropic wet etching
dualE form of silicon chip
Si a
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