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硅基体微机械加工工艺相关论文
太赫兹功分/合成器研究
随着太赫兹技术研究的不断深入,在太赫兹波段缺少大功率信号源,为满足太赫兹系统对较大功率输出的需求,必然要采用功率合成技术,因......
学位
太赫兹技术
矩形波导功分/合成器
MEMS工艺
硅基体微机械加工工艺
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