硅基微电感相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

硅基微电感相关论文

硅基微电感的研究

阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法，提出了在硅杯背面用激光器打......

期刊

MEMS 浓硼扩散区内引线激光打孔硅基微电感 MEMS heavily doped region internal down - lead l

基于MEMS技术研制RF硅基微电感线圈

在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩......

期刊

MEMS 浓硼扩散区内引线激光打孔硅基微电感

看过本文同时还关注