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硅基氮化铝薄膜相关论文
硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元
研究了基于氮化铝(AlN)薄膜的压电式风致振动微机电系统(MEMS)能量采集单元的制备工艺.采用脉冲直流磁控溅射的方法制备了具有(002)择优......
期刊
风致振动
MEMS能量采集
硅基氮化铝薄膜
衍射强度
摇摆曲线
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