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随着微电子技术的迅速发展，集成电路芯片特征尺寸越来越接近物理极限，硅基光互连技术是解决这一难题的途径之一。以光子作为信息载体......

硅基MOS器件特征尺寸的持续按比例缩小，推动着半导体集成电路产业不断向前发展。但是，随着器件尺寸进入纳米尺度，MOS器件的按比例缩小......

硅基金属-氧化物-半导体(MOS)光电器件因其价格低廉、应用广泛等优点，具有广阔的应用潜力。完全利用原子层沉积(ALD)方法制备与当今......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......