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硅微弹簧相关论文
硅微弹簧—滑块摩擦力测试结构静力学分析
为了研究微机械摩擦问题,设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构,并对其进行了静力学分析,导出系统弹性系数的计算方法,分析了强度及应力分......
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