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硅掺杂非晶碳薄膜相关论文
氢化非晶碳及硅掺杂非晶碳薄膜热稳定性能的研究
氢化非晶碳薄膜(a-C:H)和硅掺杂非晶碳薄膜(a-C:Si)由于具有高的硬度、低摩擦系数、高的可见光透射率、低电导率、稳定的室温光致......
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