硅氧化物绝缘体相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

硅氧化物绝缘体相关论文

SOI传感器的现状和发展趋势

SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI......

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SOI传感器发展趋势发展现状 SOI晶片力学传感器化学传感器光传感器磁传感器硅氧化物绝缘体 silicon on insulator (SOI)

SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现

该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理；其次，通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究，设计......

期刊

硅氧化物绝缘体宽温区压力传感器工艺研究结构性能

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