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硅热氧化动力学相关论文
硅热氧化动力学的改进唯象模型
迄今为止,热氧化法生长的SiO2仍然是最好的绝缘栅介质材料,是硅基微电子科学与半导体制造技术工业化生产的重要一环。硅热氧化的生长......
学位
硅热氧化动力学
微电子材料
高介电栅
介质材料
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