硅片处理相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

硅片处理相关论文

SPM在电子材料及其制备工艺的表征与分析中的应用研究

基于扫描探针显微镜(SPM)优异的实空间分辨能力，本文较系统地阐述了SPM在电子材料表征分析中的应用，主要研究内容如下： 1) 利用SPM......

学位

电子材料扫描探针显微镜硅片处理铜膜氧化铁电聚合物

引进硅片处理设备的故障自检系统

在大规模集成电路生产设备中,硅片处理系统包括涂胶/烘干、显影/烘干和擦片/烘干三种主要设备,是光刻工艺中除光刻机而外的关键设......

期刊

集成电路硅片处理检测故障设备

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