硅片工艺相关论文
德国瓦克化学集团最近将今年的“亚历山大瓦克创新奖”授予两位研发了未来电子部件用超平硅片创新工艺的科研人员。这一行星式研磨......
随着半导体技术的不断发展，在硅芯片制造过程中应用行之有效的缺陷检测、分类和管理技术，以提高成品率、降低生产成本将变得越来越重......
