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硅硬度相关论文
类金刚石薄膜的显微硬度测量
本研究采用HXD-1000硬度仪对以硅为基底的DLC膜的硬度进行了测量,表明随着压痕对角线长度的增加,基底硅硬度与DLC膜复合硬度是减小的......
会议
类金刚石薄膜
复合硬度
基底
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硬度仪
线长度
硅硬度
压痕
测量
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