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通过对振动阴极反应室的研究,针对粉粒与金属阴极接触的问题,提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈,振动石英管内部放电的方式进行......
对振动阴极上粉体的运动分析表明粉粒在阴极表面停留的时间与阴极表面倾斜角、气体反吹速度和粉粒大小等有关,其停留时间可达10min......
多晶硅线切割废料中含有约30%以上的高纯硅粉,若能经济地提纯回收再作为太阳能多晶硅使用,将具有很高的利用价值。深度分离提纯的......
一直以来,硅材料的昂贵成本限制了太阳能电池在地面的应用普及,因此低成本硅材料制造技术的研究开发成为太阳能电池发展的一个比较......