硅纳米针尖相关硕士博士期刊学术论文

利用氯化铯纳米岛自组装及电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术可制作出硅纳米针尖场发射阵列结构(FEA)，这种结构是场致发射器件的重要组......