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物理气相沉积(PVD)制备氧化铝涂层
1 引言rn由于氧化铝薄膜具有令人关注的优异性能,如高温稳定性、化学稳定性、低的热导率和电导率等,目前利用化学气相沉积(CVD)涂......
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