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硬质掩膜相关论文

关于硅基片硬质掩膜形成的可行性研究

通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性.......

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硅基片硬质掩膜可行性热氧化工艺干氧氧化水汽氧化热生长二氧化硅法半导体工艺 photo-electric technique thermal ox

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