介绍了金属有机气相沉积（ＭＯＣＶＤ）制备Ｍｏ２Ｃ功能膜的过程和对膜表面粗糙度的测量结果；在测量基础上进行统计，找出Ｍｏ２Ｃ膜表面高度和高差分布规律；将ＤＴ２模型推......