碳基硬质薄膜相关硕士博士期刊学术论文

该文利用化学气沉积(CVD)方法制备了不同种类的碳基硬质薄膜,工利用显微激光喇曼和XPS分析了它们的结构,利用球-盘摩擦试验机、纳......