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磁控溅射中频电源相关论文
基于IGBT的时分N倍频中频溅射电源的研究
本文重点叙述时分制N倍频技术在磁控溅射中频电源中的应用,文中讨论了以往中频电源技术发展中的短板与瓶颈,今后采用IGBT时分制N倍......
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时分制N倍频
磁控溅射中频电源
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