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磁控直流相关论文
磁控直流等离子体炬内的多场耦合研究
以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象,首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析,然后对经典的流体动力学方程组加以修正,引入......
会议
等离子体炬
多场耦合
外磁场
金刚石膜
磁控直流
传热流动
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