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离子平均能量相关论文

H_2辉光放电清洗时轰击器壁的离子能量测量与分析

一、引言辉光放电是清洗锻炼环流器真空室器壁的有效手段。H_2辉光放电时,氢离子轰击器壁与器壁中的C和O发生化学反应,生成CH_4,......

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