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离子束动态混合相关论文
多元素离子同步注入及离子束动态混合时元素表面层分布的计算机模拟
增加了靶表面不断沉积的过程以及研究动态混合。放宽了原程序适于三元靶的限制,这样就可以对合金靶的离子注入,动态混合表面改性以及......
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多元素离子注入
离子束动态混合
半导体
掺杂
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