离子束注入辅助蒸发沉积相关硕士博士期刊学术论文

工艺性能良好、摩擦学特性满足工程应用实际需求的低温气相沉积工艺的研究，为低温回火材料及聚合物等温度敏感材料零部件的表面改性......